An eadar-dhealachadh eadar an leusair excimer agus buaidh toll laser carbon dà-ogsaid den bhòrd cuairteachaidh sùbailte:
Aig an àm seo, is e na tuill air an giullachd le laser excimer an fheadhainn as lugha. Is e solas ultraviolet a th ’anns an leusair excimer, a bhios gu dìreach a’ sgrios structar an roisinn anns a ’bhunait, a’ sgapadh na moileciuilean roisinn, agus a ’gineadh glè bheag de theas, agus mar sin faodaidh an ìre de mhilleadh teas timcheall an toll a bhith cuibhrichte gu ìre as ìsle, agus an toll tha am balla rèidh agus dìreach. Ma thèid an giùlan laser a lughdachadh tuilleadh, faodar tuill le trast-thomhas de 10-20um a phròiseasadh. Gu dearbh, mar as motha a tha an co-mheas tiugh-gu-fosglaidh truinnsear, is ann as duilghe a tha e plating copair fhliuch. Is e an duilgheadas le drileadh laser excimer gum bi lobhadh an polymer ag adhbhrachadh gu bheil carbon dubh a ’cumail ris a’ bhalla toll, agus mar sin feumar dòigh air choireigin a ghabhail gus an uachdar a ghlanadh mus tèid dealan a dhèanamh gus an carbon dubh a thoirt air falbh. Ach, nuair a bhios tu a ’giullachd leusair tuill dall, tha cuid de dhuilgheadasan aig èideadh an leusair, a’ leantainn gu fuigheall coltach ri bambù.
Is e an duilgheadas as motha a tha aig laser excimer gu bheil an astar drileadh slaodach agus gu bheil a’ chosgais giollachd ro àrd. Mar sin, tha e cuingealaichte ri bhith a 'giollachd tuill bheaga le mionaideachd àrd agus àrd earbsa.
Mar as trice bidh leusair carbon dà-ogsaid buaidh a’ cleachdadh gas carbon dà-ogsaid mar an stòr laser, agus a’ radiates ghathan fo-dhearg. Eu-coltach ri lasers excimer, a bhios a ’losgadh agus a’ lobhadh moileciuilean roisinn air sgàth buaidhean teirmeach, buinidh e do lobhadh teirmeach, agus tha cumadh nan tuill giullachd nas miosa na cumadh lasers excimer. Is e trast-thomhas an toll a dh’ fhaodar a phròiseasadh gu bunaiteach 70-100um, ach tha an astar giollachd gu follaiseach fada nas luaithe na astar leusair excimer, agus tha cosgais drileadh mòran nas ìsle cuideachd. A dh’ aindeoin sin, tha a’ chosgais giollachd fhathast mòran nas àirde na an dòigh sìolachaidh plasma agus an dòigh searbhag ceimigeach a tha air a mhìneachadh gu h-ìosal, gu sònraichte nuair a tha an àireamh de thuill gach aonad mòr.
Bu chòir aire a thoirt don bhuaidh leusair carbon dà-ogsaid nuair a bhios tu a’ giullachd tuill dall, chan urrainnear an leusair a chuir a-mach ach gu uachdar an fhoil copair, agus chan fheumar an stuth organach air an uachdar a thoirt air falbh idir. Gus an uachdar copair a ghlanadh gu seasmhach, bu chòir searbhag ceimigeach no searbhag plasma a chleachdadh mar iar-làimhseachadh. A 'beachdachadh air comasachd teicneòlais, chan eil am pròiseas drileadh leusair gu bunaiteach duilich a chleachdadh anns a' phròiseas teip is teip, ach a 'beachdachadh air cothromachadh a' phròiseas agus a 'chuibhreann de thasgadh uidheamachd, chan eil e làmh an uachdair, ach an teip chip fèin-ghluasadach tàthadh An leud den phròiseas (TAB, TapeAutomated Bonding) cumhang, agus faodaidh am pròiseas teip-is-ruidhle an astar drileadh àrdachadh, agus tha eisimpleirean practaigeach air a bhith ann a thaobh seo.
.
